– 極低温用
1985年から日立は極低温用途（4K / -269ºC）のヘリウムガス圧縮機の設計におけるイノベーターとして活躍しています
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– クライオクーラーとクライオポンプ
クライオクーラーの用途：
MRI、超低温医薬品保管施設、望遠鏡、超電導ケーブルなど
クライオポンプの用途：
半導体の製造、OEL/LCDパネルの製造、研究所での使用など
MRI、超低温医薬品保管施設、望遠鏡、超電導ケーブルなど
クライオポンプの用途：
半導体の製造、OEL/LCDパネルの製造、研究所での使用など
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– 冷却用オイルインジェクションによる高信頼性
吐出温度とモーター温度の両方を低下させることで安定性を高め、高効率の冷却性能を実現しています。
– Product line and capacity range
Choose from our wide variety of products to support your business needs.
– 極低温用スクロール圧縮機ラインアップ
– Support
カタログ等の製品関連資料をダウンロード頂けます
