極低温用

1985年から日立は極低温用途(4K / -269ºC)のヘリウムガス圧縮機の設計におけるイノベーターとして活躍しています
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クライオクーラーとクライオポンプ

クライオクーラーの用途:
MRI、超低温医薬品保管施設、望遠鏡、超電導ケーブルなど

クライオポンプの用途:
半導体の製造、OEL/LCDパネルの製造、研究所での使用など
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冷却用オイルインジェクションによる高信頼性

吐出温度とモーター温度の両方を低下させることで安定性を高め、高効率の冷却性能を実現しています。

Product line and capacity range

Choose from our wide variety of products to support your business needs.

極低温用スクロール圧縮機ラインアップ

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