– 極低温用
– 極低温用
1985年から日立は極低温用途(4K / -269ºC)のヘリウムガス圧縮機の設計におけるイノベーターとして活躍しています
– クライオクーラーとクライオポンプ
クライオクーラーの用途:
MRI、超低温医薬品保管施設、望遠鏡、超電導ケーブルなど
クライオポンプの用途:
半導体の製造、OEL/LCDパネルの製造、研究所での使用など
MRI、超低温医薬品保管施設、望遠鏡、超電導ケーブルなど
クライオポンプの用途:
半導体の製造、OEL/LCDパネルの製造、研究所での使用など
– 冷却用オイルインジェクションによる高信頼性
吐出温度とモーター温度の両方を低下させることで安定性を高め、高効率の冷却性能を実現しています。
– Product line and capacity range
Choose from our wide variety of products to support your business needs.
– 極低温用スクロール圧縮機ラインアップ
– Support
カタログ等の製品関連資料をダウンロード頂けます